肖特基结构分析高分辨场发射扫描电镜

  •  负责人:黄梦秋

  •  联系电话:021-31243725

  •  联系邮箱:huangmq@fudan.edu.cn

  •  存放地点:江湾校区二号交叉学科楼地下室

  • 电子枪类型:超高亮度冷场发射电子枪

  • 分辨率:0.6nm@15 kV,0.7nm@1kV

  • 配置不同探测器系统,实现高分辨、大景深、不同成分等多种观察模式

  • 能谱探测器:分析型SDD硅漂移电制冷探测器,有效面积100mm2

  • 配备真空转移盒,实现样品不接触水氧下观察

设备介绍

为冷场场发射扫描电镜,采用了高质量图像、大东流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,样品适用性广泛,可以实现不导电、易损伤、电子束敏感材料的无损伤高质量图像。同时,配备了真空转移盒,为锂电池等对空气敏感的样品提供了测试条件。


独特的Super ExB技术




氧化铝纳米颗粒

介孔SiO2(SBA15)

碳纳米颗粒的形貌成像

3D NAND