仪器设备
材料加工-原位加热-结构表征双束多功能综合平台
负责人：黄梦秋
联系电话：021-31243725
联系邮箱：huangmq@fudan.edu.cn
存放地点：江湾校区二号交叉学科楼地下室
配置极靴内低位探测器，样品室内二次电子探测器
离子束交义点分辨率：≤2.5nm@30kV
电子束分辨率：≤0.6 nm@15 kV:1.0nm@1kV:0.9 nm@1kV(减速模式)
具备独立的Pt和C气体沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行Pt、C沉积
配备纳米机械手，具备制备TEM样品的能力
原位加热台
设备介绍
用于金属、半导体、锂电池、地质样品、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构，自动高质量定点TEM样品制备，可实现离子束刻蚀、离子束沉积、电子東沉积、高分辨扫描电镜等功能，可对试样加工的同时进行实时观测，并配合热台实现原位分析。
平台加工样品展示
地址: 上海市淞沪路2005号
邮编：200433
电话：021-31243725
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