聚焦离子束双束电镜

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  •  存放地点:江湾校区二号交叉学科楼地下室

  • 电子束分辨率:≤0.6nm@15 kV;1.0 nm@1 kV;0.9 nm@1 kV(减速模式)

  • 具备独立的 Pt和C气体沉积系统,可在离子束、电子束诱导下进行Pt、C沉积

  • 离子束交叉点分辨率:≤2.5 nm@30 kV

  • 配备纳米机械手,具备制备TEM样品的能力

设备介绍

Helios 5 CX 结合了 Elstar 电子镜筒(可实现较高分辨率成像和较高的材料对比度)与聚焦离子束(FIB)镜筒(用于较快、较容易和较精确的高质量样品制备),配合升级的自动化控制和数据采集软件,可进行快速、简单、全自动.无人值守的多位点原位和非原位切片器件的制备和观察。