真空转移型高分辨场发射扫描电子显微镜

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真空转移型高分辨场发射扫描电子显微镜

负责人：吴庆松
联系电话：021-31249934
联系邮箱：wuqs@fudan.edu.cn
存放地点：江湾校区二号交叉学科楼地下室

电子枪：冷阴极场发射电子枪
内透镜物镜，提供高分辨成像
分辨率：0.4nm(30kV)，0.34nm(30kV,STEM )
多探头观察模式，包括SE/STEM
高性能能谱仪100 mm²无窗能谱

设备介绍

具有二次电子分辨率(0.4 nm@30 kV)和 STEM分辨(0.34 nm@30 kV)的扫描电镜。高电压更有利于观察衬度较差的碳材料样品。配备了更高检测灵敏度的高分辨能谱仪，可以获取高质量的样品元素分布信息。配备了多种探测器，可以接收二次电子、背散射电子、透射电子等信号，可以获得样品更为全面的微观结构和成分等信息。

优点：

高分辨观察和分析
多种成像模式(SE,BSE,STEM)
多种扩展模式
观察效率高

CNT(聚苯并咪唑)+铂颗粒

叶腊石

NMOS transistor(32 nm)

地址: 上海市淞沪路2005号

邮编：200433

电话：021-31243725