仪器设备
冷冻高分辨肖特基场发射扫描电镜
负责人：周广荣
联系电话：021-31242856
联系邮箱：grzhou@fudan.edu.cn
存放地点：江湾校区二号交叉学科楼地下室
电子束分辨率：≤1.0nm@15 kV≤1.4 nm@1 kV; 1.2 nm@1 kV (减速模式)
独立的Pt和C气体沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行Pt、C沉积
离子束交叉点分辨率：≤3nm@30 kV
液氮制冷台，可控制冷温度最低可低于-180℃，支持360°旋转和-15°到 +55°倾转，支持冷冻传输杆进样
冷冻纳米机械手
EDS能谱探测器，晶体有效面积不低于100mm2
设备介绍
是一种超高分辨率分析 FIB-SEM 系统，可为较广泛的样品(包括磁性和非导电材料)提供快速、简单、精确、智能自动化的高质量样品制备，为 S/TEM成像和原子探针断层扫描(APT)以及高质量的亚表面和三维样品测试提供理想条件。广泛应用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等大块固体样品微区结构的分析和纳微结构加工处理。
冷冻双束平台
定点横截面样品制备
TEM样品制备
微纳米图形加工制备
地址: 上海市淞沪路2005号
邮编：200433
电话：021-31243725
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