主要性能和指标

• 加工方式：氩离子束研磨

• 加速电压：0.0 ~ 6.0 kV

• 复合型研磨，支持各种样品的平面和截面研磨

• 配备真空转移盒，实现样品不接触水氧下观察

• 与日立SEM联用，无需将样品从样品台上取下即可进行SEM观察

设备介绍

设备采用氩离子束无应力研磨方式，可实现多种材料样品的高质量截面与表面制备。适用于金属材料、多层薄膜、电池材料、陶瓷、高分子及复合材料等样品的微结构分析前处理。可与 SEM、EBSD、AFM 等表征技术联用。同时，配备了真空转移盒，为锂电池等对空气敏感的样品提供了测试条件。

复合型研磨