主要性能和指标

离子束系统：

1. 加速电压：0.5-30 kV连续可调；

2. 束流强度：1.5 pA~65 nA；

3. 液态Ga离子源；

4. 分辨率：7 nm@30 kV；

5. 探测器：ETD（SE、BSE），ICE（SE、BSE、SI）。

电子束系统：

1. 加速电压：0.2-30 kV连续可调；

2. 束流强度：0.78 pA~400 nA；

3. Schotty X-FEG场发射电子枪；

4. 分辨率：6 nm@2 kV,1.6 nm@30 kV；

5. 探测器：ETD（SE、BSE），TLD（SE、BSE），T1/T2（BSE、In-lens）。

冷冻样品台：五轴马达驱动（XY：110 mm，压电陶瓷马达驱动；Z：65 mm，电机马达驱动；倾角范围（-15°）~（+55°）；可绕Z轴旋转任意角度（360°）；水平方向漂移<10 nm、降温时间（<-170℃）<30 min。

设备特点

Aquilos Cryo-FIB 是首款专门用于制备生物材料Tomography样品的设备。Aquilos制备的Tomography样品，厚度约为200nm，转移至cryo-TEM中进行高分辨率冷冻电子断层成像，而后进行样品结构的三维重构。Aquilos的低温配件可以极大程度降低样品污染、损坏和相关精度损失，同时，Aqulios配备了原位的Sputter coating和Gas Injection Systerm，极大的提高了样品制备的成功率。