主要性能和指标

1. 二次电子分辨率：0.5 nm@15 kV，0.8 nm@1 kV；

2. 放大倍数：5-2000,000；

3. 加速电压：0.02 kV-30 kV；

4. 检测器：SE（二次电子检测器）、In-lens SE（环形内置式二次电子检测器）、ESB （能量选择背散射电子检测器）、STEM（扫描透射探测器）；

5. 能谱分辨率：Mn Kα≤ 127 eV，能谱分析范围：Be4-Cf 98。

设备特点

具备二次电子检测器、环形内置式二次电子检测器、能量选择背散射电子检测器、扫描透射探测器。配备100 mm²能谱仪；样品台角度转动范围为-60°~60°，可实现3D重构功能。可对材料化学组成、元素分布、组成相的形貌：尺寸、分布、形状等进行表征分析。