主要性能和指标

1. 分辨率：1.0 nm@15 kV，4.0 nm @0.1 kV；

2. 放大倍数：12-900,000（SE），100-900,000（BSE）；

3. 加速电压：0.1-30 kV；

4. 能谱分辨率：129 eV；

5. 能谱分析范围：B5-U92。

设备特点

具备背散射电子检测器、二次电子检测器、能量选择背散射电子检测器、环形内置式二次电子检测器、红外CCD相机、扫描透射电子探测器（明场/暗场/环形暗场/高角度环形暗场成像）等装置。扫描电镜的低温冷冻制样及传输技术（Cryo-SEM）可实现对液体、半液体及对电子束敏感样品的观察。